棱镜耦合仪
光子集成技术是延续摩尔定律的关键，光波导薄膜的折射率、厚度、损耗直接决定光子芯片性能与良率。上海研润光机高精度棱镜耦合仪，基于全反射与倏逝波耦合原理，精准测量薄膜光学参数，适配光子芯片研发、工艺监控与质量检验。
技术突破
原理权威:基于衰减全反射(ATR)和光学隧道效应，通过扫描共振角获取波导有效折射率，是行业公认的薄膜光学参数测量金标准，可对各类晶圆、衬底上的单层及多层薄膜进行表征。
精度顶尖:搭载高精密气浮旋转台与闭环控制系统，角度分辨率达0.001°，重复定位精度优于±0.002°，可精准捕捉微弱共振谷;折射率测量精度+0.001，薄膜厚度测量精度可达±1nm(依薄膜品类与厚度而定)，性能达到国际先进水平。
自研可控:仪器硬件、控制系统及核心解算算法均实现自主研发，形成理论建模、仿真优化到实验验证的完整技术体系，支持定制化功能升级与本地数据处理，保障研发数据安全与测量流程自主可控。
市场前景广阔
当前硅光、激光雷达、高速光通信等产业快速发展，行业对薄膜光学参数在线监测和工艺闭环控制的需求持续攀升。该设备可覆盖研发、流片到量产全周期高精度测量需求，保障产品良率与性能统一;模块化结构还可适配半导体、显示、光学镀膜等多领域精密检测，是高端光电产品国产化突破与量产提速的核心关键装备。
